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          氮化硅廠家安陽市紅興氮化材料有限公司主要產品有氮化硅鐵,氮化硅錳,并且質量有所保障,歡迎和我們聯系!  

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          氮化錳薄膜的制作方法是什么

          來源:http://www.gdjpr.com/news643004.html   發布時間:2019/6/12 0:00:00

              其實,作為一種氮化材料,氮化錳可應用在不同的領域中。由于錳、氮的各種作用,在煉制高強度鋼、不銹鋼、耐熱鋼時需要同時加人錳、氮元素。以單質形式加入錳、氮兩種元素時,存在如氮的溶解度低、密度小、不易加入及氮的添加量不易控制等缺點。然而,以氮錳化合物形式加入時,不僅易于加入,并且錳、氮的利用率也高。
              為了能夠加深大家對氮化錳的了解,掌握更多關于氮化錳的應用范圍,將向大家簡單的講一下氮化錳薄膜的制作方法。傳統的Mn基阻擋層主要通過PVD共沉積CuMn復合材料,然后使用熱退火處理,使Mn擴散至介質表面來實現。但是,在退火過程中,Cu與low-k(比如SiCOH)介質直接接觸,將會導致Cu在介質材料中擴散;而且形成的MnSixOy薄膜導電性較差,一般為絕緣體,會導致RC延遲增加。

              以脈沖的方式向反應腔中通入Mn(EtCp)2蒸氣,使之與襯底表面的Si-H或Si-OH 活性基團發生反應(Mn(EtCp)2中某一個化學鍵斷裂與襯底表面的懸掛鍵成鍵),在襯底上形成密集且均勻且密集吸附的Mn(EtCp)2層;通入吹洗用氣體,以將反應腔中多余的Mn(EtCp)2蒸氣以及氣態的反應副產物 吹洗干凈;以脈沖的方式向反應腔中通入NH3氣體,同時開啟等離子體發生器使其電離產 生NH3等離子體,并與吸附于襯底表面的Mn(EtCp)2發生化學反應(NH3等離子體將與Mn連接 的苯環鍵打斷,并與Mn成鍵)。通入吹洗用氣體,以將反應腔中多余的NH3等離子體以及反應副產物吹洗干凈,獲得氮化錳薄膜。

          氮化錳

              通過以上方法制成的氮化錳薄膜具有很多優點,如制作工藝簡單,無需后退火,可直接在介質上形成MnxNy阻擋層薄膜。氮化錳薄膜具有很好的均勻性和表面平整度,較低的電阻率。希望大家可以通過這些信息,進一步增加對氮化錳薄膜的了解。同時,也能間接的了解到,氮化錳的應用范圍。

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